Kuinka ratkaista magnetronisputteroitujen kalvojen epäyhtenäisyys?
, magneettikentän tasaisuus ja suunta tulisi varmistaa suhteellisen tasaisen avaruusmagneettikentän muodostamiseksi. Toiseksi ilmanpaineen yhtenäisyys olisi varmistettava niin pitkälle kuin ma...