Yleinen tyhjiöterminologia5

1. Kaasun kaasu -kaasu siirtyy toisessa väliaineessa pitoisuusgradientin vuoksi. Elatusaine voi olla toinen kaasu (diffuusio tässä tapauksessa kutsutaan interdiffuusioksi) tai kondensoitava aine.
2.D -diffuusiokerroin; Diffuusio ： Absoluuttisen massan virtausnopeuden suhde pinta -alayksikköä kohti normaaliin konsentraatiogradienttiin pinta -alayksikköä kohti. Kiinan PVD -pinnoituskoneen toimittajat
3.Viskollinen virtaus ： Kaasumolekyylin keskimääräinen vapaa polku on paljon pienempi kuin kanavan minimi poikkileikkauskoko. Siksi virtaus riippuu kaasun viskositeetista, joka voi olla laminaarinen tai pysähtynyt.
4.lu Viskoosinen tekijä ： Tangentiaalisen voiman suhde nopeuden gradientiin yksikköä kohti ilmavirran nopeuden gradientin suuntaan.
5.Sorptio ： Kaasun tai höyryn (adsorbaatti) tarttuminen kiinteällä tai nesteellä (adsorbentti) .

Jakaa: