DK -kaari -ionin päällyste

Kaari -ionin päällyste

PVD- fyysinen höyryn laskeuma
Yksi fyysisen höyryn laskeutumisen muoto (PVD -pinnoite) on kaari -ionin pinnoite. PVD -pinnoitteen historia alkoi käyttää ARC -tekniikkaa, jolla on alkuperäkaarihitsaus.

Kohteet

Haihtuttava metalli asetetaan kiinteänä lohko (kohde) tyhjiökammion sisäpuolelle. Hehkupurkaus syttyy ja kulkee maaliin jättäen jalanjäljen. Muutaman μm: n halkaisijaltaan kohdekohdemateriaalin pienet kohdat haihdutetaan. Kaaren liikkumista voidaan ohjata magneeteilla.

Plasmapäällyste

Haihtunut ionisoitua materiaalia käytetään plasmapinnoitteena tuotteelle, joka pyörii tyhjiökammion sisällä. ARC -pinnoitteita käytetään työkalupinnoitteena ja komponenttipinnoitteena.

Esimerkkejä pinnoitteista

Esimerkkejä kaaripinnoitteesta ovat tinat, aitin, AICRN, Tisin, TICN, CRCN ja CRN -pinnoite

Kaaviokuva PVD -kaariprosessista.

Kaaren pinnoitustekniikan karakterisoitu:

Korkeat laskeutumisnopeudet (1 ~ 3 μm/h) korkea ionisaatio, mikä johtaa hyvään tarttuvuuteen ja tiheään pinnoitteeseen, kun kohde jäähdytetään, substraatin lämpöä syntyy, jopa pinnoite alle 100 ℃ on mahdollista, että useita metallien koostumuksia voidaan haihtua, jättäen jäljellä olevan kiinteän kohteen muuttumattoman koostumuksen. Katodit voidaan sijoittaa mihin tahansa asentoon (vaakasuora, pystysuora, ylösalaisin), mikä tekee joustavan koneen suunnittelusta mahdolliseksi.

Kaaren pinnoitustekniikan tärkeimmät haitat:

Rajoitetut kohdemateriaalit - vain metallit (ei oksideja) - joilla ei ole liian matalaa haihdutuslämpötilaa, koska suuret virrantiheydet johtuvat jonkin verran kohdemateriaalia, poistetaan pieninä nestepisaroina.