Mikä on ohuen kalvon laskeuma lämpöhaihduttamalla?

Yksi yleisimmistä fyysisen höyryn laskeutumisen menetelmistä (PVD) on lämmön haihtuminen. Tämä on eräänlainen ohutkalvojen laskeuma, joka on tyhjiötekniikka pinnoitteiden levittämiseen Haihdutus tyhjiöpäällystyskoneen toimittajat Puhtaat materiaalit eri esineiden pinnalle. Pinnoitteet, joita kutsutaan myös kalvoiksi, ovat yleensä angstromien paksuusalueella mikroneihin ja voivat olla yksi materiaali tai ne voivat olla useita materiaaleja kerrosrakenteessa.
Lämpöhaihdutustekniikoilla käytettävät materiaalit voivat olla puhtaita atomielementtejä, mukaan lukien sekä metallit että muut kuin metallit, tai ne voivat olla molekyylejä, kuten oksideja ja nitridejä. Päätettävään objektiin viitataan substraattina, ja se voi olla mikä tahansa monenlaisia ​​asioita, kuten: puolijohdekiekko, aurinkokennot, optiset komponentit tai monet muut mahdollisuudet.

Lämpöhaihdutus sisältää kiinteän materiaalin lämmittämisen korkean tyhjiökammion sisällä, ottaen sen lämpötilaan, joka tuottaa jonkin verran höyrynpainetta. Tyhjiön sisällä jopa suhteellisen matala höyrypaine riittää höyrypilven nostamiseen kammion sisällä. Tämä haihduttunut materiaali muodostaa nyt höyryvirran, joka kulkee kammiota ja osuu substraattiin pitäen sitä pinnoitteena tai kalvona.
Koska lämpöhaihdutusprosessien tapauksissa materiaali lämmitetään sulamispisteeseen ja on nestemäinen, se sijaitsee yleensä kammion pohjassa, usein jonkinlaisessa pystysuorassa upokkaassa. Höyry nousee sitten tämän alalähteen yläpuolelle, ja substraatit pidetään käänteisesti sopivissa kalusteissa kammion yläosassa. Pinnat, jotka on tarkoitus päällystetä, ovat siten kohti lämmitettyä lähdemateriaalia pinnoitteensa vastaanottamiseksi.
Vaiheet