Mitkä ovat vaiheet tyhjöpäällystyskoneen käyttämiseen?
Tyhjiöpäällystyskone Pääasiassa viitataan pinnoitteen tyyppiseen pinnoitteeseen, joka on suoritettava korkeamman tyhjiön alla, mukaan lukien monet tyypit, mukaan lukien tyhjövastuslämmityksen haihdutus, elektronien aseiden lämmityksen haihtuminen, magnetronin sputterointi, mbe -molekyylisäteen epitaksi, PLD -laserin sputtering laskeuma, ionin on monia tyyppisiä säteen sputterointia. Pääidea on jaettu kahden tyyppiseen haihtumiseen ja ruiskuttamiseen.
Sähköohjauskaapin toiminta 1. Kytke vesipumppu ja ilmalähde. 2. Kytke päävirtalähde päälle. 3. Kytke ylläpitopumpun ja tyhjiömittarin, tyhjiömittarin sijainti V1, virtalähde, odota arvon olevan alle 10, ja kirjoita sitten seuraava vaihe. Se vie noin 5 minuuttia. 4. Kytke mekaaninen pumppu, prep-pumppu, kytke Turbo-molekyylipumpun teho päälle ja käynnistä se. Tyhjiömittarikytkin vaihdetaan V2 -asentoon. Pumppaaminen alle 2: een kestää noin 20 minuuttia. 5. Tarkkaillessaan, että turbomolekyylipumpun lukeminen saavuttaa 250, sammuta prep-pumppu, kytke taustapumppu ja korkea tyhjiöventtiili jatkaksesi tyhjöä. Kun tyhjiö on saavuttanut tietyn tason, kytke oikealla tyhjöllä oleva korkea tyhjiömittari päälle. Vasta sen jälkeen kun tyhjiö saavuttaa 2 × 10-3, voidaanko elektronien aseen virtalähde päälle.
DEF-6B-operaatio 1. Kokonaisvirtalähde. 2. Kytke elektroniaseenohjaus ⅰ ja elektronien aseiden ohjaus ⅱ virtalähde samanaikaisesti: Paina elektronien aseiden hallinta ⅰ Virtalähde, viivekytkin, viive, virtalähde ja suojavalot ovat päällä. Kolmen minuutin kuluttua viive- ja suojavalot ovat pois päältä. Jos takaovi ei ole suljettu tai veden virtausrele on epäonnistunut, suojavalo on aina päällä. 3. Kun korkeajännite kytketään päälle, korkeajännite saavuttaa yli 10 kV, palkkivirta voidaan säätää noin 200 mA: iin, verhoverkko on 20 V/100 mA, filamenttivirta on 1,2A ja taipumavirta kääntyy välillä 1 - 1,7.
Sammutusjakso 1. Sammuta korkea tyhjiömittari ja molekyylipumppu. 2. Kun molekyylipumpunäyttö saavuttaa 50, sammuta korkea venttiili, etuvaihe ja mekaaninen pumppu vuorotellen. Tämä ajanjakso kestää noin 40 minuuttia. 3. Kun se on alle 50, sammuta huoltopumppu uudelleen.
Jakaa:
Tuotekonsultointi
Sähköpostiosoitettasi ei julkaista. Vaadittavat kentät on merkitty *