Mitkä ovat tyhjiöpäällystejärjestelmän pääkomponentit?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Mitkä ovat tyhjiöpäällystejärjestelmän pääkomponentit?

1. Tyhjiökammio

pinnoituslaitteet Pääasiassa on kaksi muotoa: jatkuva pinnoitetuotantolinja ja yksikammiopinnoitekone, ruostumattomasta teräksestä valmistettujen materiaalien valmistus, argonin kaarihitsaus, pintakemiallinen kiillotuskäsittely ja laipan rajapintojen eri tiedot hitsataan tyhjiökammiokomponenteihin.

2, tyhjiön hankintaosa

Tyhjiötekniikassa tyhjiön hankintaosa on tärkeä osa. Tyhjiön hankkimista ei voida saavuttaa yhdellä tyhjiölaitteella ja -menetelmällä. Useita pumppuja on käytettävä yhdessä, kuten mekaaniset pumput, juurpumput, molekyylipumppujärjestelmät jne.

3, tyhjiömittausosa

Tyhjiöjärjestelmän tyhjiömittausosa on mitata paine tyhjiökammiossa. Kuten tyhjiöpumppu, mikään tyhjiömittari ei voi mitata koko tyhjiöaluetta, joten ihmiset ovat tehneet monen tyyppisiä tyhjiömittareita eri periaatteiden ja vaatimusten mukaisesti. Kuten termoelementtimittari, ionisaatiomittari, Pirani -mittari jne.

4. Virtalähdeosa

Kohdevirtalähde sisältää pääasiassa tasavirtalähteen, välitaajuuden virtalähteen, pulssihäviön ja radiotaajuusvirtalähteen (RF). Yleisiä virransyöttövalmistajia ovat AE, ADL, Hottinger jne.

5. Prosessi kaasutulojärjestelmä

Prosessikaasut, kuten argon (AR), Krypton (KR), typpi (N2), asetyleeni (C2H2), metaani (CH4), vety (H2), happi (O2) jne. Kaasun paineen vähentävä venttiili, kaasun pysäytysventtiili, putkilinja, kaasuvirtausmittari, solenoidiventtiili, pietsosähköinen venttiili ja sitten tyhjiökammioon. Tämän kaasun syöttöjärjestelmän etuna on, että putkilinja on yksinkertainen ja selkeä, ja kaasusylinterin korjaaminen tai vaihtaminen on helppo. Pinnoitekoneet eivät vaikuta toisiinsa. On myös tapauksia, joissa useilla pinnoitekoneilla on joukko kaasusylinterejä. Tämä tilanne voidaan nähdä joissakin laajamittaisissa pinnoituspajoissa. Sen etu on, että se vähentää kaasusylinterien käyttöastetta, yhtenäistä suunnittelua ja yhtenäistä asettelua. Haittana on, että nivelten lukumäärän kasvun vuoksi ilmavuotojen mahdollisuus kasvaa. Lisäksi pinnoitekoneet häiritsevät toisiaan, ja yhden pinnoitteen putkilinja voi vuotaa ilmaa, mikä voi vaikuttaa muiden pinnoitekoneiden tuotteen laatuun. Lisäksi vaihdettaessa kaasusylintereitä on tarpeen varmistaa, että kaikki koneet ovat ei-kaasutilassa.

6. Mekaaninen siirtoosa

Pinnoite edellyttää, että reunan paksuuden on oltava tasainen. Siksi pinnoitusprosessissa on oltava kolme kiertoa vaatimusten täyttämiseksi. Toisin sanoen, kun suuri työpöytä tarvitaan kiertämiseen (I), myös pieni työkappaleen kantaja pyörii (II) ja itse työkappale voi pyöriä samanaikaisesti (III). Mekaanisessa suunnittelussa suuren työkappaleen kääntöpöydän pohjan keskellä on yleensä suuri ajovesi ja pienet tähtipyörät verkot sen mukana. Jos tuotetta on tarkoitus kiertää, työkappaletta kiertää yleensä siirtohaarukalla.

7, lämmitys ja lämpötilan mittausosa

Pinnoituslaitteilla on yleensä lämmittimiä eri asentoissa, ja lämpötila käytetään lämpötilan mittaamiseen ja hallintaan. Koska termoelementtien kiinnitysasento on kuitenkin erilainen kuin työkappaleen sijainti, lämpötilan lukeminen ei kuitenkaan voi olla työkappaleen todellinen lämpötila. Työkappaleen todellisen lämpötilan mittaamiseksi on olemassa monia menetelmiä, voit asentaa korkean lämpötilan testipaperin tai termoelementin mittarin työkappaleen.

8. ionin haihtuminen ja ruiskutuslähde

Multi-arkkipinnoituksen haihtumislähde on yleensä pyöreän kakun muodossa, joka tunnetaan yleisesti pyöreänä kakkukohteena, ja siellä on myös suorakaiteen muotoisia monitarkikohteita. Magneetti on asennettu kohdepohjaan. Siirtämällä magneettia edestakaisin, magneettikentän voimakkuus muuttuu, ja kaaripisteen liikkuvan nopeuden ja etenemissuunta voidaan säätää. Kohteen ja kohdepohjan lämpötilan alentamiseksi kohdepohja on jatkuvasti toimitettava jäähdytysvedellä. Kohteen ja kohdepohjan välisen korkean sähkö- ja lämmönjohtavuuden varmistamiseksi voidaan lisätä myös kohteen ja kohdepohjan väliin. Magnetroninen ruiskutuspäällystys käyttää yleensä suorakaiteen muotoisia tai lieriömäisiä ruiskuttavia katodeja.

9, Vesijäähdytysjärjestelmä

Yleensä koostuu kylmävesitornista, jäävesikoneesta, vesipumppuista jne.

10, teollisuusohjausjärjestelmä

Jakaa: