Kuinka käyttäjät voivat tunnistaa varhaiset merkit päällystyskoneen suuttimen tukkeutumisesta?

Miksi suuttimien tukkeutuminen tapahtuu ylipäätään

Ennen kuin käyttäjä voi havaita varhaisia varoitusmerkkejä, se auttaa ymmärtämään, mikä aiheuttaa tukos. Päällystyssuuttimet ja haihdutusupokkaat keräävät jäännöksiä muutamista ennustettavissa olevista syistä: kondensoitunut höyry, joka jähmettyy uudelleen lähellä aukkoa, hapettuneet hiukkaset lähteestä, jota on käytetty liian monta kertaa, ja sivutuotteet poistuvat substraateista, joita ei ole puhdistettu kunnolla ennen lataamista. Tyypillisessä muodossa metallointikone , alumiinilanka, joka syötetään vastuslämmitetyn veneen läpi, voi jättää jälkeensä mikroroiskeita, jotka vähitellen kaventaa höyryvirran reittiä. Kymmenien syklien aikana tämä kapeneminen muuttaa kerrostumiskuvion geometriaa, mikä näkyy juuri ensimmäisenä alla käsitellyissä lukemissa.

Kosteus, kammion puhtaus ja lähdemateriaalin puhtaus vaikuttavat kaikki siihen, kuinka nopeasti tämä kerääntyminen tapahtuu. 99,9-prosenttisesti puhdasta alumiinilankaa käyttävässä laitoksessa kertyy paljon vähemmän jäämiä kuin kierrätettyä tai heikompaa materiaalia käyttävässä laitoksessa, ja tämä on yksi huomiotta jääneimmistä muuttujista, kun käyttäjät yrittävät diagnosoida toistuvia tukkeutumisongelmia.

Quartz Crystal Deposition Monitorin lukeminen

Saostumisnopeuden valvontalaite antaa toisen riippumattoman vahvistuksen tukkeutumisesta ennen kuin mitään näkyvää vikaa ilmenee alustassa. Terve suutin tai haihdutuslähde tuottaa lineaarisen, ennustettavan nopeuskäyrän. Kun jäännös kaventaa aukkoa, nopeuskäyrä tyypillisesti tasoittuu tai putoaa 10 % - 25 % verrattuna reseptin tavoitenopeuteen, vaikka lähteen teho pysyy vakiona.

Operaattorit käynnissä a metallointikone heijastavia kalvoja tai pakkausmateriaaleja tulee tarkkailla erityisesti nopeudella, joka alkaa voimakkaasti ja kapenee syklin puolivälissä, koska tämä kuvio viittaa usein asteittaiseen tukkeutumiseen lähdemateriaalin puutteen sijaan. Jos nopeus palautuu upokkaan uudelleentäytön jälkeen, mutta heikkenee uudelleen samanlaisessa vaiheessa seuraavassa jaksossa, tämä toistettava kuvio on vahva merkki siitä, että suuttimen geometria itsessään tarvitsee puhdistusta materiaalin syötön sijaan.

1. Kirjaa ylös reseptin tavoitesaostusmäärä ennen syklin aloittamista.
2. Vertaa reaaliaikaista lukemaa syklin 25 %, 50 % ja 75 % merkeissä.
3. Merkitse yli 10 %:n jatkuva pudotus tarkastettaviksi seuraavalla aikataululla.
4. Tarkista nopeuden poikkeama saman syklin alipainelogia vastaan.

Alustan paksuuden tasaisuuden tarkastus

Kun materiaali on käsitelty, paksuuskartoitus substraatin leveydeltä paljastaa tukkeutumakuvioita, jotka ovat saattaneet jäädä väliin syklin puolivälissä. Hyvin toimiva suutin muodostaa tasaisen pinnoitteen sisällä ±5 % tavoitepaksuus alustan leveydeltä. Kun tukkeutuminen on meneillään, paksuuslukemat osoittavat usein paikallisen 10 %:n tai suuremman putoamisen suoraan vaikutuksen alaisen suutinsegmentin alavirtaan, kun taas substraatin muu osa pysyy toleranssin sisällä.

Yleisimmät virheet, joita käyttäjät tekevät diagnosoidessaan tukkeutumista

Useat toistuvat virheet viivästävät varhaista havaitsemista ja tekevät pienestä ongelmasta täydellisen tuotannon pysäytyksen. Ensinnäkin käyttäjät katsovat toisinaan hitaan laskeutumisnopeuden yksinomaan alhaisen lähdemateriaalin ansioksi tarkistamatta tyhjiölokista vastaavaa paineen muutosta, jolloin tukkeutumissignaali puuttuu kokonaan. Toiseksi paksuuskartoitus tehdään usein liian harvoin kehittyvän trendin havaitsemiseksi, erityisesti pitkillä, keskeytymättömillä erillä kulkevilla linjoilla. Kolmanneksi silmämääräinen tarkastus näkymän kautta ohitetaan usein suurilla nopeuksilla, vaikka viiden sekunnin vilkaisu voi paljastaa epätasaisen höyrysuihkun, jota mikään anturi ei seuraa.

Näiden tapojen korjaaminen ei useimmissa tapauksissa vaadi uusia laitteita. Se edellyttää johdonmukaista tarkistuslistaa, jota sovelletaan määräajoin, yhdistettynä lokiin, jonka avulla käyttäjät voivat verrata tämän päivän lukemia koneen omaan historiaan yleisen tehtaan oletusperustason sijaan.