Kuinka ratkaista magnetronisputteroitujen kalvojen epäyhtenäisyys?

, magneettikentän tasaisuus ja suunta tulisi varmistaa suhteellisen tasaisen avaruusmagneettikentän muodostamiseksi.

Toiseksi ilmanpaineen yhtenäisyys olisi varmistettava niin pitkälle kuin mahdollista. Suunnitellessasi tyhjiökammioa, tyhjiöpumpun asennusasento, tapa Haihdutus tyhjiöpäällystyskonitehdas Prosessin kaasun saantia ja kammion prosessiputken asettelua tulisi harkita.

Kolmanneksi, koska magneettikenttä ja ilmanpaine eivät voi olla ehdottoman ihanteellisia, magneettikenttä voidaan kompensoida ilmanpaineen epäyhtenäisyydellä lopullisen kalvopuvun valmistamiseksi.

Neljänneksi kohdepohjaetäisyys on myös tärkeä tekijä, joka vaikuttaa tasaisuuteen.

Jakaa: