Haihduttava tyhjiöpäällystyskoneen päällystysprosessi- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Haihduttava tyhjiöpäällystyskone on yleinen tyhjiöpäällystyskone päivittäistä levitystä varten. Monet materiaalit, joilla on matala sulamispiste, kuten alumiini, magnesiumfluoridi ja sinkkisulfidi käyttävät haihtumispinnoitekonetta. Alhaisen kustannuksensa ja korkean hyötysuhteensa vuoksi se on pinnoituksen valmistajat. valita. Höyrystys tyhjiöpäällystyskone, joka on jaettu vastushöyrystyspinnoitekoneeseen, induktion haihtumispinnoitekoneeseen, vastushöyryn päällystyskoneeseen, pohjimmiltaan päällystää joitain päivittäisiä laitteistoja ja joustavia materiaaleja, induktion haihtumispinnoituskonetta käytetään laajasti käämitysmateriaaleissa, kuten kullalla olevassa hopeajohdolla jne. Jne.

1. Valmistelu ennen pinnoitusta

Prosessiin sisältyy pinnoitusosien puhdistus, haihdutuslähteen tuotanto ja puhdistus, pinnoituslaitteiden puhdistus tyhjiökammiossa, haihdutuslähteen asentaminen, pinnoitusosien asennus jne.

(1) päällystettyjen osien puhdistaminen ja käsittely:

Kalvokerroksen ja päällystetyn osan pinnan välisen sitoutumisvoiman koko on tärkeä tuotteen laadun indikaattori. Se määritetään monien tekijöiden perusteella, ja pintakäsittely ennen päällystämistä on yksi perustekijöistä. Jos päällystetyn osan pinnalla on rasvaa, adsorboitua vettä, pölyä jne., Se vähentää kalvon sitoutumisvoimaa ja vaikuttaa pinnan karheuteen.

Kemiallinen rasvanpoisto. Erilaisten metalli- ja metallipinnoitettujen osien tulisi ottaa vastaava rasvanpoisto- ja rasvanpoistoprosessi. Erityisiä menetelmiä varten voit etsiä rasvanpoistoa tämän verkkosivuston teknisestä sarakkeesta nähdäksesi niihin liittyviä artikkeleita.

Sähköstaattinen saostus. Pennotut osat ladataan helposti staattisesta sähköstä muovausprosessin aikana, mikä voi aiheuttaa kalvokerroksen reikiä tai vähentää kalvon sidosvoimaa, joten staattinen sähkö on poistettava ennen pohjamaalin käyttöä.

Pohjuste. Yleensä haihtumisen pohjassa olevan kalvokerroksen paksuus on 0,05 ~ 0,1um, kun taas tavanomaisten pinnoitusosien pinnan epätasaisuus on 0,5um, ja kalvokerroksen paksuus on kaukana riittävästä kuopan täyttämiseksi. Pinnan karheuden vähentämiseksi erityinen pohjamaali on 7 ~ 10UM, yleensä pinta -osien pinnalle kaivojen poistamiseksi ja pinnan tasoittamisen vaikutuksen saavuttamiseksi.

(2) Haihtumislähteen tuotanto:

Tuotteen käyttövaatimusten ja päällystettyjen osien käyttövaatimusten mukaan sopivan haihdutusmateriaalin valitseminen on perusedellytys korkealaatuisen kalvon saamiseksi.

Metallikalvomateriaalien valitsemisen perusperiaatteet ovat: hyvä lämpöstabiilisuus ja kemiallinen stabiilisuus, korkea mekaaninen lujuus, alhainen sisäinen stressi ja tietty sitkeys, hyvä sitoutuminen pohjamaaliin, korkea heijastavuus ja tyhjiön suppaaminen. Pieni; Laajat materiaalilähteet, alhaiset hinnat ja vastaavat haihtumislähteet.

Erilaisten haihtumismateriaalien on valittava vastaava haihtumislähde ja haihtumispinnoitusmenetelmä.

(3) Pyhökammion ja pinnoituslaitteen puhdistus:

Jos sisäpeitellä varustettu tyhjiökammio on saastunut, kansi voidaan poistaa puhdistamista tai uusimista varten. Jos sisäkuorta ei ole, se voidaan pyyhkiä kalsiumkarbonaatilla, pyyhkiä vedellä ja lopulta pyyhkiä vedettömällä etanolilla.

Yleisesti käytettyjä alumiinikalusteita voidaan liottaa 20 -prosenttisesti NaOH -liuoksessa, kunnes pinta on ruskea, sitten huuhdellaan juoksevalla vedellä, liotettuna HNO3: een, kunnes ruskea katoaa, ja pestään sitten ja kuivattu.

(4) Asenna haihtumislähde:

Ole varovainen käyttämään etukäteen raskautuneita käsineitä ja rasvatyökaluja. Kiinnitä erityistä huomiota haihtumislähteen ja elektrodin väliseen hyvään kosketukseen.

(5) Aseta päällystetyt osat:

Se olisi asetettava päällystettyjen osien maahan ja päällystetyt osat vakaasti ja tiukasti, jotta päällystetyt osat heitetään pois kiinnikkeestä kiinnittimen pyörimisen vuoksi haihtumisen aikana. On tarpeen käyttää raskautuneita käsineitä, älä puhu ja pitää päällystetyt osat jigin puhtaana.

2. tyhjiövaihe

Avaa jäähdytysvesiventtiili, säädä vaadittavaan vedenpaineeseen, kytke päävirtalähde, sulje ilmakehän venttiili tyhjiökammioon, sulje putkilinjan venttiili, käynnistä mekaaninen pumpun virtalähde ja avaa edeltävä tyhjiöventtiili. Tällä hetkellä mekaaninen pumppu evakuoi tyhjiökammion, johtaa sitten ionipommituksia, kytkeytyy diffuusiopumpun lämmitystehon päälle ja sulkee pähkimän edeltävän venttiilin. Kun diffuusiopumppu saavuttaa työvaatimukset, sulje tyhjiöventtiili, avaa putkilinjan venttiili ja avaa korkea tyhjiöventtiili. , Diffuusiopumppu, mekaaninen pumppu tyhjiökammion pumppaamiseksi, kun tyhjiö saavuttaa tietyn arvon, leipoa, sulaa ja haihtua.

3. Ionipommitus

Hehkuvuotojen aikana ionit pommittavat elektroneja suuren nopeuden saamiseksi, ja päällystetyt osat ovat nopeasti negatiivisesti varautuneet elektronien suuren liikkuvuuden vuoksi. Pinnalla on energianvaihto, ja pinnoituskappaleen adsorptiokerroksen ja aktiivisen kaasun välillä tapahtuu kemiallinen reaktio pinnan puhdistamisen vaikutuksen saavuttamiseksi.

Ionipommituksen olosuhteet ovat, että kaasun jäännöspaine on vakaa 0,13 ~ 13Pa: lla, jännite on 1,5 ~ 10 kV ja aika on 5 ~ 60 minuuttia.

4. Paista

Se voi nopeuttaa päällystetyn osan tai kiinnittimen adsorboitun kaasun nopeaa poistumista, josta on hyötyä kalvokerroksen tyhjiöasteen ja sitoutumisvoiman parantamiseksi. Leivontaessa on huomattava, että ei-metallisten osien leivontalämpötilan tulisi olla 20 ~ 30 ℃ pienempi kuin päällystetyn osan lämpömuodostuslämpötila. Metallileito ei yleensä ylitä 200 ℃.

5. PREVELTING

Se voi poistaa haihdutusmateriaalin ja haihtumislähteen adsorboituneen kaasun ja haihdutusmateriaalin ja haihtumismateriaalin alhaiset sulamispisteen epäpuhtaudet, mikä edistää haihtumisen sujuvaa etenemistä. Aine on suljettava toistuvasti, ja yleinen vaatimus on, että kun haihdutusmateriaali lämmitetään haihtumislämpötilaan, tyhjiöaste ei pudota.

6. Haihtuminen

Haihtumis tyhjiöpäällystyskoneen haihtumistekniikalla on suuri vaikutus pinnoitteen laatuun, ja sillä on erilaiset vaatimukset yleisille metalleille, erityisille metalleille ja yhdisteille. Esimerkiksi jotkut metallit on haihdutettava nopeasti, kun taas toiset eivät ole sopivia. Lähteen muoto riippuu myös haihtumismateriaalista.