Yleiset tyhjiövuotojen havaitsemismenetelmät

Vuotojen havaitseminen heliummassaspektrometrialla

Tämä tekniikka on välttämätön tekniikka tyhjiövuotojen havaitsemisen alalla. Sitä käytetään laajasti vuotojen havaitsemisessa sen suuren vuotojen havaitsemisen, helpon käytön, herkän instrumentin vasteen, suuren tarkkuuden vuoksi Kiinan PVD -pinnoitusjärjestelmien toimittajat Muiden kaasujen helposti häiriintynyt. Helium -massaspektrometrin vuotoilmaisin on eräänlainen kaasun tiiviyden havaitsemislaite, joka perustuu massaspektrometriaperiaatteeseen, joka käyttää heliumia vuodon indikaattorikaasuna. Se koostuu ionilähteestä, analysaattorista, keräilijästä, kylmästä katodin ionisaatiomittarista, massaspektrometriakammiosta, pakojärjestelmästä ja sähköosasta. Massaspektrometrian kammion hehkulangan säteilevät elektronit värähtelevät edestakaisin huoneessa ja törmäävät sisäkaasun ja heliumin kanssa, jotka tulevat huoneeseen vuotavan reiän läpi ionisoimaan positiivisiin ioneihin. Nämä helium -ionit saapuvat kiihtyneen sähkökentän vasemman ja oikean aivojen alla ja taipuvat Lorentz -voiman vaikutuksesta, muodostaen pyöreän kaaren kiertoradan ja vaihtavat kiihdytetyn sähkökentän. Paine mahdollistaa eri massan ionien havaitsemisen saavuttamalla vastaanottava napa magneettikenttien ja vastaanottavien paikkojen kautta. Heliumin injektiomenetelmä ja heliumin imeytymismenetelmä ovat kaksi yleisesti käytettyä menetelmää heliummassaspektrometrin vuotojen havaitsemisessa.