Työkappaleen puhdistusvaiheet ennen pinnoittamista tyhjiöpäällystelaitteessa

Substraatin pinnalla olevan päällystetyn kalvon tarttuvuuden ja sileyden parantamiseksi, samoin kuin kalvon kompakti, ennen kuin substraatti ripustetaan tyhjiöpäällystyskoneeseen, on suoritettava alustava puhdistusvaihe öljyvärit, tahrat, pöly, sen varmistamiseksi, että se on puhtaassa tilassa ja sitten päällystettävä.

1. Tyhjiölämmityspuhdistus

Työkappaletta lämmitetään normaalissa paineessa tai tyhjössä. Edistää haihtuvien epäpuhtauksien haihtumista pinnalle puhdistuksen tarkoituksen saavuttamiseksi. Tämän menetelmän puhdistusvaikutus liittyy työkappaleen ympäröivään paineeseen, säilytysajan pituuteen tyhjiössä, lämmityslämpötilassa, epäpuhtauksien tyypissä ja työkappaleen materiaalissa. Periaate on lämmittää työkappale. Edistää vesimolekyylien ja erilaisten hiilivetymolekyylien parannettua desorptiota, joka adsorboituu sen pinnalle. Desorption paranemisen aste on lämpötilasta riippuvainen. Erittäin korkealla tyhjiöllä atomisesti puhtaiden pintojen saamiseksi lämmityslämpötilan on oltava yli 450 astetta. Lämmityspuhdistusmenetelmä on erityisen tehokas. Mutta joskus tällä lähestymistavalla voi olla myös sivuvaikutuksia. Lämmityksen seurauksena voi tapahtua, että jotkut hiilivedyt aggregoivat suurempiin agglomeraatteihin ja hajoavat samalla hiilitähteiksi

2. Ultraviolettisäteilypuhdistus

Käyttää UV -säteilyä hajottamaan hiilivetyjä pinnalla. Esimerkiksi ilma -altistuminen 15 tunnin ajan tuottaa puhtaan lasipinnan. Jos oikein esipuhdistuneet pinnat sijoitetaan otsonia tuottavaan UV-lähteeseen. Puhdas pinta voidaan luoda muutamassa minuutissa (prosessi puhdas). Tämä osoittaa, että otsonin läsnäolo lisää puhdistusnopeutta. Puhdistusmekanismi on: Ultraviolettien säteilytyksessä likamolekyylit ovat innostuneita ja dissosioituneita, ja otsonin muodostuminen ja olemassaolo tuottavat erittäin aktiivista atomi -happea. Virheelliset likamolekyylit ja lian dissosiaatiolla syntyneet vapaat radikaalit ovat vuorovaikutuksessa atomi -hapen kanssa. Muodostuu yksinkertaisempia ja haihtuvia molekyylejä. Kuten H2O3, CO2 ja N2. Reaktionopeus kasvaa lämpötilan noustessa.

3. Vastuuvapauspuhdistus

Tätä puhdistusmenetelmää käytetään laajasti korkean tyhjiön ja erittäin korkeiden tyhjiöjärjestelmien puhdistamisessa ja kaasussa. Erityisesti käytetty tyhjiöpäällystyskoneissa. Elektronilähteenä käytetään kuumaa lankaa tai elektrodia. Negatiivisen puolueellisuuden levittäminen puhdistettavalle pinnalle voi saavuttaa kaasun desorption ionin pommittamalla ja tiettyjen hiilivetyjen poistamisella. Puhdistusvaikutus riippuu elektrodimateriaalista, geometriasta ja sen suhteesta pintaan. Toisin sanoen se riippuu ionien lukumäärästä ja ionienergiasta yksikköpinta -alaa kohti. Siten se riippuu käytettävissä olevasta sähkövoimasta. Tyhjiökammio on täytetty inertillä kaasulla (tyypillisesti AR -kaasulla) sopivalla osittaisella paineella. Puhdistus voidaan saavuttaa ionipommituksella hehkupoistolla matalalla jännitteellä kahden sopivan elektrodin välillä. Tässä menetelmässä. Inertti kaasu ionisoidaan ja pommittaa tyhjiökammion sisäseinämää, muita tyhjiökammion rakenteellisia osia ja päällystettävä substraatti, mikä voi tehdä joitain tyhjiöjärjestelmiä vapautettuina korkean lämpötilan leivonnasta. Joidenkin hiilivetyjen parempia puhdistustuloksia voidaan saada, jos happea lisätään varautuneeseen kaasuun. Koska happi voi hapettua tiettyjä hiilivetyjä haihtuvien kaasujen muodostamiseksi, jotka tyhjiöjärjestelmä on helposti poistanut. Ruostumattoman teräksen korkean tyhjiön ja erittäin korkean tyhjiöastian pinnalla olevat epäpuhtauksien pääkomponentit ovat hiili ja hiilivety. Yleensä siinä olevaa hiiltä ei voida haihduttaa yksin. Kemiallisen puhdistuksen jälkeen on välttämätöntä tuoda AR tai AR O2 -kaasu hehkupölyn puhdistukseen, jotta pinnalle pinnalle sitoutuneet kaasut poistetaan kemiallisesta vaikutuksesta. hehkuvapauden puhdistuksessa. Tärkeitä parametreja ovat käytetyn jännitteen (AC tai DC) tyyppi, purkausjännitteen suuruus, virrantiheys, varautuneen kaasutyyppi ja paine. Pommituksen kesto. Elektrodien muoto ja puhdistettavien osien materiaali ja sijainti jne.

4. kaasun huuhtelu

(1) typen huuhtelu

Kun typpe adsorboituu materiaalin pinnalle, pienen adsorptioenergian vuoksi, pinnan pidättämisaika on lyhyt. Vaikka se adsorboituu laitteen seinämään, se on helppo pumpata pois. Tämän typen ominaisuuden käyttäminen tyhjiöjärjestelmän huuhteluun voi lyhentää järjestelmän pumppausaikaa huomattavasti. Esimerkiksi, ennen kuin tyhjiöpinnoitekone laitetaan ilmakehään, täytä tyhjiökammio kuivalla typellä sen huuhtelemiseksi ja täytä sitten ilmakehään, seuraavan pumppausjakson pumppausaikaa voidaan lyhentää lähes puoleen, koska typen adsorptioenergia on paljon pienempi kuin vesihöyryn molekyyli, joka on täytetty nitrogeenin alapuolella, nitro -mooleissa Tyhjiökammion seinä. Koska adsorptiopaikka on kiinnitetty, se on ensin täynnä typpimolekyylejä ja adsorboituja vesimolekyylejä on hyvin vähän, mikä lyhentää pumppausaikaa. Jos järjestelmä saastuu diffuusiopumpun öljy -roiskeella, typen huuhtelumenetelmää voidaan käyttää myös saastuneen järjestelmän puhdistamiseen. Yleensä järjestelmän leipomisen ja lämmittämisen aikana järjestelmän huuhtelu typpikaasulla voi poistaa öljyn pilaantumisen.

(2) Reaktiivinen kaasun huuhtelu

Tämä menetelmä soveltuu erityisesti sisäiseen pesuun (poistamalla hiilivetyjen saastuminen) suuren erittäin korkean ruostumattomasta teräksestä valmistetun pölynimurista. Yleensä joidenkin suurten erittäin korkean tyhjiöjärjestelmän tyhjiökammioille ja tyhjiökomponenteille atomisesti puhtaiden pintojen saamiseksi pintakontaminaation poistamiseksi tavanomaiset menetelmät ovat kemiallinen puhdistus, tyhjiöuunien paahtaminen, hehkupurkauksen puhdistus ja alkuperäiset energian paahtamisen tyhjiöjärjestelmät ja muut menetelmät. Yllä kuvattuja puhdistus- ja kaasunpoistomenetelmiä käytetään yleisesti ennen tyhjiöjärjestelmän kokoonpanoa ja sen aikana. Kun tyhjiöjärjestelmä on asennettu (tai järjestelmän toiminnan jälkeen), koska tyhjiöjärjestelmän eri komponentit on kiinnitetty, tyhjiöjärjestelmän eri komponenttien degasien on vaikeaa. Kun järjestelmä on (vahingossa) saastunut (pääasiassa suuret atomilukut), molekyylit, kuten hiilivetyjen saastuminen), puretaan yleensä ja uudelleenkäsitetään uudelleen ennen asennusta. Reaktiivisen kaasuprosessin avulla in situ online-kaasut voidaan suorittaa. Poista hiilivetyjen pilaantuminen tehokkaasti ruostumattomasta teräksestä valmistetussa tyhjiökammiossa. Sen puhdistusmekanismi: Järjestelmässä hapettava kaasu (O2, N0) ja vähentävä kaasu (H2, N H3) on lainattu järjestelmässä kemiallisen reaktion puhdistuksen suorittamiseksi metallin pinnalla pilaantumisen poistamiseksi atomisesti puhtaiden metallipintojen saamiseksi. Pinnan hapettumisen/pelkistyksen nopeus riippuu saastumisesta ja metallin pinnan materiaalista. Pintareaktionopeutta säädetään säätämällä reaktiokaasun paine ja lämpötila. Jokaiselle substraatille tarkat parametrit määritetään kokeellisesti. Nämä parametrit ovat erilaisia ​​erilaisille kristallografisille suuntauksille.

Vuonna 2007 perustettu aikaisempi nimi Huahong -tyhjiötekniikka on ammattimainen Kiinan tyhjiötarvikkeiden toimittajat ja Tyhjiötarvikkeiden valmistajat , mukaan lukien, mutta niihin rajoittumatta, ruiskutusjärjestelmät, optiset pinnoitusyksiköt, erämetallisaattorit, fysikaaliset höyryn laskeutumisjärjestelmät (PVD), kovat ja kuluvat kestävät tyhjiöpäällystyslaitteet, lasi, PE, PC-substraattipäällystimet, rullausrullikoneet joustavien substraattien päällystämiseksi. Koneita käytetään laajaan alla kuvatussa sovelluksessa (mutta ei rajoitettu) auto-, koristeelliset, kovat pinnoitteet, työkalu- ja metallileikkauspinnoitteet ja ohutkalvojen pinnoitesovellukset teollisuus- ja laboratorioille, mukaan lukien yliopistot.Danko Vacuum Technology Company LTD on sitoutunut laajentamaan markkinarajojamme tarjoamalla korkealaatuisia, korkean suorituskyvyn ja tukkumuototarvikkeiden hintoja. Yrityksemme keskittyy voimakkaasti myynnin jälkeisiin palveluihin kotimaisten ja kansainvälisten markkinoiden tarjoamiseen, tarjoamalla tarkkoja osankäsittelyuunnitelmia ja ammatillisia ratkaisuja asiakkaiden tarpeiden tyydyttämiseksi.