Yleisen haihtumispinnoitustekniikan analyysi- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Yleisen haihtumispinnoitustekniikan analyysi

1. Resistenssin haihtumispinnoitus: Resistenssin haihtumislähdettä käytetään haihduttamaan matala sulamispistemateriaaleja, kuten kulta, hopea, sinkkisulfidi, magnesiumfluoridi, kromitrioksidi jne. Resistenssin haihtumislähteet on yleensä valmistettu volframista, molybdeenistä ja tantaalista.

14. Elektronisäkki haihdutuspinnoitus : Kun kalvomateriaali höyrystyy ja haihtuu elektronisäteen lämmityksellä, se tiivistyy substraatin pinnalla kalvon muodostamiseksi, mikä on tärkeä lämmitysmenetelmä tyhjiöhaihdutustekniikassa.

Tällaisia laitteita on monen tyyppisiä. Ohuen kalvoteknologian laajalla levittämällä paitsi kalvotyyppien vaatimukset ovat erilaisia, vaan myös kalvojen laatuvaatimukset ovat tiukempia.

Resistenssin haihtuminen ei enää pysty vastaamaan joidenkin metallien ja ei-metallien haihtumisen tarpeisiin. Elektronisäteen lämmönlähde voi saada paljon suuremman energiatiheyden kuin vastuslämpölähde, ja arvo voi saavuttaa 104-109W/cm2, joten kalvo voidaan lämmittää arvoon 3000-6000C.

Tämä tarjoaa paremman lämmönlähteen haihtuville tulenkestävälle metalleille ja ei-metallimateriaaleille, kuten volframi, molybdeeni, germanium, sio2, AI2O3 jne.

Lisäksi lämpöä voidaan lisätä suoraan kalvomateriaalin pintaan, joten lämpötehokkuus on korkea ja lämmönjohtavuus ja lämmön säteilyhäviöt ovat pienet.

3. Kaaren lämmityksen haihdutuspinnoitus: Lämmitysmenetelmä, joka on samanlainen kuin elektronisäteen lämmitysmenetelmä, on kaaren purkauslämmitysmenetelmä. Sillä on myös ominaisuuksia välttää resistenssien lämmitysmateriaalien tai upottavien materiaalien saastuminen, ja sillä on korkean lämmityslämpötilan ominaisuudet, erityisesti soveltuvat tulenkestävän metallien, grafiitin jne. Höyrystymiseen korkealla sulamispisteellä ja tietyllä johtavuudella.

Samanaikaisesti tässä menetelmässä käytetty laite on yksinkertaisempi kuin elektronisäteen lämmityslaitteessa, joten se on suhteellisen edullinen haihtumislaite.

4. Lasersäteen haihdutuspinnoitus: Menetelmää suuritehokkuuden pulssilaserin käyttämiseksi materiaalien haihduttamiseksi ohutkalvojen muodostamiseksi kutsutaan yleensä laserin haihtuminen

5. Korkean taajuuden induktion lämmityksen haihdutuspinnoitus: Käytä induktiolämmityksen periaatetta metallin lämmittämiseen haihdutuslämpötilaan.

Kalvomateriaalia sisältävä upokas asetetaan spiraalikelan keskelle ja korkeataajuusvirta johdetaan kelan läpi, jotta metallikalvomateriaali voi tuottaa virtaa kuumentuakseen, kunnes se haihtuu.

Induktiolämmityksen haihdutuslähteen ominaisuudet:

1. Korkea haihdutusaste

2. haihdutuslähteen lämpötila on tasainen ja vakaa, eikä alumiinipisaran tuottaminen ole helppoa tuottaa

3. Haihtumislähde ladataan kerralla, langan syöttömekanismia ei vaadita, lämpötilan hallinta on suhteellisen helppoa ja toiminta on yksinkertaista

4. Kalvomateriaalin puhtauden vaatimukset ovat hieman leveämpiä.

Lämpöhaihdutus tyhjiöpäällystyskone