Kuinka magnetronisputteroivan pinnoituskoneen käyttöpaine vaikuttaa substraatteihin käytetyn pinnoitteen laatuun ja tasaisuuteen?
Käyttöpaine on suora rooli substraatin ruiskutetun materiaalin laskeutumisnopeuden hallinnassa. Pienillä paineilla keskimääräinen vapaa polku - etäisyys sputteroitu atomi kulkee ennen kuin törmäävä...